Оборудование Despatch для микроэлектронного производства: применение сушильных шкафов серии LCC для отверждения бензоциклобутена
Типовым применением шкафов LCC в полупроводниковом производстве является сушка клея после монтажа кристаллов. Шкафы могут также использоваться для проведения других операций, проводимых в рамках различных технологических процессов изготовления электронных компонентов и устройств. Одной из таких операций является отверждение бензоциклобутена. Материалы на его основе – такие, например, как диэлектрики серии Cyclotene – требуют тщательного контроля параметров процесса полимеризации, что может быть успешно реализовано с помощью шкафов серии LCC.
Предлагаем ознакомиться с полным текстом статьи.
Контактное лицо: Сергей Воробьев, руководитель направления «Микроэлектроника».
Тел. +7(960)271-28-67, e-mail s.vorobyev@liontech.ru
Скачать статью (PDF)
- Комментарии