Новостная рассылка
компании ЛионТех

Наша рассылка содержит:

- Новинки оборудования
- Акции компании
- Оповещения о семинарах
- Новости компании
- Интересные статьи




+7 (812) 309-27-37
+7 (495) 646-14-76
+7 (800) 555-68-89
micro.jpg
Меню

В вашем браузере отключен java-script.

Включите его в настройках браузера,
или обратитесь к своему системному администратору.


Штабелируемые сушильные шкафы серий LCC/LCD для чистых комнат

Штабелируемые сушильные шкафы серий LCC/LCD для чистых комнат

Сушильные шкафы серии LCC/LCD спроектированы таким образом, что их можно устанавливать друг на друга и за счет этого экономить занимаемую площадь в рабочем помещении.

Типовым применением шкафов LCC/LCD в полупроводниковом производстве является операция сушки клея после монтажа кристаллов. Шкаф может быть также использован для других технологических операций, применяемых в процессе корпусирования микросхем и полупроводниковых приборов. Шкафы серии LCC/LCD применяются в медико-биологической промышленности для процессов сухожаровой депирогенизации и стерилизации.

Шкафы оснащены HEPA-фильтрами и, таким образом, могут быть использованы в производственных помещениях с высокими требованиями к чистоте воздуха. Нагретый воздух, циркулирующий внутри рабочей камеры, полностью очищается HEPA-фильтрами. Шкафы LCC/LCD соответствуют требованиям ISO Class 5 (класс 100).

Шкафы LCC/LCD могут также производиться без HEPA-фильтрации.

Особенности системы:

  • Максимальная рабочая температура – 260°С (LCC), 350°С (LCD);
  • Атмосфера в рабочей камере – воздух или очищенный азот (концентрация кислорода в азоте 100 ppm);
  • Все шкафы серии LCC/LCD оснащены принудительной вытяжкой для ускорения охлаждения;
  • Шкафы, работающие в среде азота, оснащены программируемым устройством управления систем подачи азота и водяного охлаждения;
  • Аварийный выключатель расположен на лицевой панели шкафа;
  • Микропроцессорный контроллер температуры Protocol 3TM с большим ЖК-дисплеем;
  • Функция непрерывной записи температурного режима в рабочей камере в файл регистрации с возможностью экспорта данных через USB-порт;
  • Внутренние и внешние облицовочные панели изготовлены из нержавеющей стали. Все стыки панелей заварены, что обеспечивает защиту рабочей камеры от проникновения загрязнений;
  • Дверь рабочей камеры оснащена электронным программируемым замком, предотвращающим случайное открытие двери оператором до завершения цикла сушки;
  • Конструкция шкафов позволяет устанавливать их друг на друга;
  • Система HEPA-фильтрации, соответствие требованиям ISO Class 5 (класс 100). Система оснащена датчиком перепада давления Magnehelic, контролирующим падение давления, что позволяет выполнять своевременную замену HEPA-фильтров по мере их загрязнения;
  • Порт RS485 для удаленного контроля и мониторинга работы сушильного шкафа;
  • Звуковой сигнал, оповещающий о достижении предельной температуры или завершении цикла сушки.


Опции:

  • Конструкция и сборка без применения силиконовых герметиков и уплотнителей;
  • Конструкция без системы HEPA-фильтрации;
  • HEPA-фильтр для интенсивного потока воздуха;
  • Сушка в среде азота;
  • Система автоматического выключения нагревателей и вентилятора при открытии двери;
  • Регистрирующий самописец;
  • Трехцветный сигнальный фонарь;
  • Закрытое основание с регулируемыми по высоте ножками;
  • Дополнительные полки;
  • Система контроля концентрации кислорода;
  • Программное обеспечение для сбора и обработки информации;
  • Очистка и тщательная тройная упаковка в чистой комнате перед транспортировкой;
  • Другие опции по требованию заказчика;
  • CE сертификат.

Техническая спецификация:
Физические характеристики

Серия LCC/LCD

1-16

1-51

Габариты рабочей камеры (ШхГхВ), см

* Реальный размер меньше на 3,8 см из-за наличия направляющих для полок с каждой стороны шириной 1,9 см

36*х36х36 см

58*х51х51 см

Объем рабочей камеры, л

45

144

Внешние размеры (ШхГхВ), см

83х90х53 см

103х108х68 см

Электропитание 50/60 Гц, 1 фаза

220-240 В / 3 кВт

220-240 В / 6 кВт

Количество полок в стандартной комплектации

2

2

Максимальное количество полок

5

8

Вес нетто, кг

114

172

Вес брутто, кг

159

238


Функциональные характеристики

Серия LCC/LCD

1-16

1-51

Время нагрева без загрузки

От 40°С до 100°С

7 минут

5 минут

От 40°С до 200°С

30 минут

27 минут

От 40°С до 260°С

45 минут

35 минут

От 40°С до 350°С*

60 минут

50 минут

Время охлаждения без загрузки

* температура охлаждающей воды 16°С, поток 16 л/мин

От 100°С до 55°С

35 минут (воздух)

30 минут (азот)

40 минут (воздух)

25 минут (азот)

От 200°С до 55°С

65 минут (воздух)

55 минут (азот)

75 минут (воздух)

40 минут (азот)

От 260°С до 55°С

75 минут (воздух)

60 минут (азот)

85 минут (воздух)

45 минут (азот)

От 350°С до 55°С*

90 минут (воздух)

80 минут (азот)

100 минут (воздух)

50 минут (азот)

Температурная однородность

При 100°С

± 1°С

± 1°С

При 200°С

± 2°С

± 2°С

При 260°С

± 3°С

± 3°С

При 350°С

± 4°С

± 4°С

Диапазон рабочих температур (воздух/азот)

40°С-350°С / 35°С-350°С

Устойчивость регулирования

± 0,5°С

Максимальная загрузка

90 кг

Максимальная нагрузка на полку

23 кг

11 кг

Рециркуляционный вентилятор

0,25 ЛС / 113 л/с

0,25 ЛС / 205 л/с

* только для LCD