Плазменные системы обработки PC-серии
Области применения:
-
Производство микроэлектроники
-
упаковка;
-
производство мобильных телефонов;
-
компьютерная техника;
-
цифровая продукция;
-
производство пластмасс;
-
стекольная промышленность;
-
электроника;
-
автомобилестроение;
-
медицинская отрасль;
-
металлообработка.
Основные функции системы:
-
Очистка поверхности: удаление пыли, масляных пятен, тонкая обработка и устранение статического электричества.
-
Активация поверхности: улучшение адгезии поверхности, значительное повышение поверхностной энергии объекта.
Технические характеристики
|
Параметр |
PC-60 |
PC-80 |
PC-100 |
PC-150 |
|
Внутренние размеры камеры (Д×Ш×В), мм |
403×400×403 |
450×400×450 |
470×460×470 |
500×600×500 |
|
Материал камеры |
Нержавеющая сталь |
|||
|
Размеры полки-электрода (Д×Ш), мм |
319×374 |
320×420 |
380×440 |
520×470 |
|
Материал электрода |
Алюминий |
|||
|
Объем, л |
60 |
80 |
100 |
150 |
|
Система управления |
PLC + сенсорный экран |
|||
|
Конструкция электрода |
8 слотов под полки-электроды |
|||
|
Вакуумная система |
Двухступенчатый масляный роторный насос |
|||
|
Контроль уровня вакуума |
Датчик Пирани |
|||
|
Система измерения газа |
Высокоточный массовый расходомер |
|||
|
RF-питание |
0–500 Вт/0–1000 Вт |
0–500 Вт/0–1000 Вт |
0–500 Вт/0–1000 Вт |
0–500Вт/0–1000 Вт |
|
Рабочий вакуум (Па) |
10–100 |
10–100 |
10–100 |
10–100 |
|
Предельный вакуум (Па) |
0,5 |
|||
|
Время вакуумирования (с) |
<55 |
<70 |
<80 |
<100 |
|
Время сброса вакуума (с) |
<15 |
<20 |
<25 |
<30 |
|
Диапазон регулирования расхода рабочего газом (см3/мин) |
0–300 |
|||
|
Режим работы |
Ручная загрузка/выгрузка; |
|||
|
Питание |
Трехфазное 380 В, 4кВ |
Трехфазное 380 В, 4кВ |
Трехфазное 380 В, 4кВ |
Трехфазное 380 В, 4 кВ |
|
Вес, кг |
560 |
580 |
630 |
680 |
|
Габаритные размеры (Д×Ш×В), мм |
1200×920×1690 |
1200×920×1690 |
1200×920×1690 |
1200×920×1690 |