+7 (812) 309-27-37
+7 (495) 646-14-76
+7 (800) 555-68-89
micro.jpg
Меню

В вашем браузере отключен java-script.

Включите его в настройках браузера,
или обратитесь к своему системному администратору.


A-CS-300 – Установка отмывки

A-CS-300 – Установка отмывки

Скачать PDF


A-CS-300 – автоматическая, отдельно стоящая установка отмывки полупроводниковых пластин и подложек после операции дисковой резки.

Основные особенности установки A-CS-300
  • Максимальная скорость вращения рабочего столика 3000 об/мин;
  • Размер рамок от 5” до 12“;
  • Метод отмывки – в распыленной воздушнокапельной среде;
  • Полный цикл отмывки, включая сушку воздухом;
  • Функция отмывки струей высокого давления.

Техническая спецификация A-CS-300

Модель

A-CS-300

Размер рамок

5-12 “ (стандартные рамки Accretech)

Скорость вращения рабочего столика

30 – 3000 об/мин

Отмывка в распыленной воздушно-капельной среде

Чистая вода (0,3 МПа, 0,2 л/мин)

Сухой воздух (0,4 МПа, 100 л/мин)


Вода для полоскания

< 0,4 МПа

Воздух для сушки

< 0,7 МПа

Электропитание

200 В, 3 ф, 50/60 Гц, 3 кВА (макс)

Сжатый воздух

0,5-0,7 МПа, 200 л/мин

Вода

0,2-0,5 МПа, 2 л/мин

Габариты (ШхГхВ)

490х650х1400 мм

Вес

160 кг