ALSI LASER 1205 – автоматическая установка лазерной резки (грувинга) полупроводниковых пластин
Полностью автоматизированная установка лазерной резки (грувинга) пластин диаметром до 300 мм (возможность работы с фрагментами пластин). Загрузка и выгрузка пластин выполняется автоматически из магазина в магазин. Встроенная станция нанесения покрытия на пластину и отмывки. Высокая производительность машины, на 50% выше конкурентов.
Используется уникальная (запатентованная) многолучевая лазерная резка пластин, что позволяет получить исключительные параметры при резке (грувинге): малый нагрев области реза и ее минимальная ширина.
Возможность применение в установке ультрафиолетового лазера позволяет минимизировать глубину проникновения лазерного луча и уменьшить область локального нагрева. Использование пикосекундого лазера способствует дополнительному существенному уменьшению ширины реза и области нагрева.


Краткая спецификация
|
Лазер |
УФ или ИК |
|
Конфигурация лазерного луча |
Многолучевая /Одиночный луч |
|
Размер пятна лазерного луча |
5 мкм (УФ) |
|
Ход реза X-Y |
310 мм |
|
Максимальная скорость (X-Y) |
500 мм/сек |
|
Точность позиционирования и воспроизводимость |
≤ 1,5 мкм |
|
Время позиционирования |
≤ 0,15 сек |
|
Ширина-высота-глубина машины(см) |
150 х 220 х 200 |
|
Вес машины |
2500 кг |
Обсуждается возможность проведения предварительной исследовательской работы с образцами заказчика:
- осуществление пробных резов (грувинга) на предоставленных образцах с возможностью заказчика самостоятельно оценить результаты резки (грувинга);
- определение оптимальной конфигурации машины под проект заказчика.
Проведение обучение операторов заказчика в сертифицированных центрах производителя оборудования.
По запросу заказчика может быть предоставлена дополнительная детальная презентация по оборудованию.
