FAD5100S - Автоматическая система дозирования
Установка FAD5100S – это наиболее высокопроизводительная и точная система автоматического дозирования компании Musashi. Её основным применением является каплеструйное дозирование подкристальной заливки (underfill) в зазор между флип-чипом и подложкой, на которую он установлен. Система оснащается дозирующей головкой AeroJet.
Для работы с полупроводниковыми пластинами предусмотрена модификация установки – модель FAD5100S-WH. На этой модели можно дозировать компаунд под флип-чипы, установленные на пластины диаметром до 300 мм (технология «Chip-on-Wafer / Кристалл на пластине»). Для удобства и быстродействия, FAD5100S-WH оснащена функцией работы с картами пластин.
Особенности системы:
- Высокоскоростное бесконтактное каплеструйное дозирование (джеттинг);
- Быстродействующая система машинного зрения;
- Автоматический контроль объема дозируемого материала;
- Функция MCD (Multi Cycle Dispensing) для исключения образования пустот в заливке под кристаллом;
- Функция автоматического отслеживания дефектов и предотвращения их появления (AFC).
Техническая спецификация
Параметры |
DISPENS MASTER FAD5100S |
DISPENS MASTER FAD5100S-WH |
Система управления |
PC/PLC управление, SMEMA-совместимый интерфейс |
|
Типы подложек и изделий |
Печатные платы, керамические подложки, выводные рамки, кассеты и тара-спутник и пр. |
Полупроводниковые пластины диаметром 8” и 12” (200мм и 300мм) |
Скорость перемещения по осям XY |
До 1000 мм/с |
|
Скорость перемещения по оси Z |
До 1000 мм/с |
|
Повторяемая точность позиционирования по осям XY |
± 0,002 мм |
|
Повторяемая точность позиционирования по оси Z |
± 0,01 мм |
|
Количество одновременно используемых дозирующих головок |
1 |
|
Длина рабочей зоны |
От 80 до 315 мм |
8”, 12” (200 мм, 300 мм) |
Ширина рабочей зоны |
От 50 до 160 мм |
8”, 12” (200 мм, 300 мм) |
Высота рабочей зоны |
От 0,1 до 2,0 мм |
Мин. 0,5 мм |
Количество встроенных конвейерных линий |
До 2 |
- |
Количество рабочих станций |
До 3 |
1 |
Электропитание |
220 В, 50/60 Гц |
|
Потребляемая мощность |
3 кВт |
4 кВт |
Габаритные размеры (без загрузчика и разгрузчика) |
1070 х 1270 х 1680 мм (ШхГхВ) |
|
Вес (без загрузчика и разгрузчика) |
700 кг |
840 кг |
Параметры поставляемого оборудования могут быть отличны от указанных на сайте, точные характеристики указываются в спецификации при формировании коммерческого предложения.