+7 (812) 309-27-37
+7 (495) 646-14-76
+7 (800) 555-68-89
micro.jpg
Меню

В вашем браузере отключен java-script.

Включите его в настройках браузера,
или обратитесь к своему системному администратору.


Системы плазменной обработки, серия AL

Системы плазменной обработки, серия AL

Скачать PDF

Установки плазменной обработки серии AL используются, в основном, в полупроводниковой промышленности, гелиотехнике (производстве солнечных модулей) и производстве электронных компонентов для плазменной очистки и активации поверхности. С помощью плазменной обработки можно добиться сверхвысокой чистоты поверхности.

Основное применение этого оборудования – плазменная обработка металлических или пластиковых деталей и поверхностей перед операциями монтажа, склеивания, ультразвуковой или термозвуковой микросварки, нанесения покрытий, лакировки и окраски. Оборудование применяется для очистки деталей из металлов, керамики или стекла – т.е. материалов, способных выдерживать обработку в вакууме.

Установки серии AL также применяются для нанесения покрытий с помощью плазменной полимеризации.

Очистка поверхности

В процессе плазменной очистки с обрабатываемой поверхности удаляются остаточные органические загрязнения. Как правило, перед обработкой плазмой осуществляется предварительная очистка поверхности стандартными физико-химическими способами.

Сверхчистую, практически стерильную, поверхность можно получить с помощью обработки кислородной плазмой. Органические загрязнения связываются кислородом и удаляются из рабочей камеры в течение рабочего цикла. В некоторых случаях используются другие рабочие газы –инертные газы или водород. Рабочий газ выбирается исходя из вида загрязнения, а также характеристик обрабатываемого материала.

Активация поверхности

В случае активации плазмой обрабатывается поверхность полимера. В этом процессе используются такие рабочие газы как аргон, азот, кислород или аммиак (NH3).

Под воздействием плазмы на обрабатываемой поверхности образуются свободные радикалы, формирующие химически активный слой. В результате плазменной активации значительно улучшаются адгезия и смачиваемость поверхности.

Плазменная полимеризация

Плазменная полимеризация используется для нанесения полимерных покрытий. Газообразные полимеры поступают в рабочую камеру, полимеризуются под воздействием плазмы и осаждаются на обрабатываемой поверхности.

С помощью процесса плазменной полимеризации можно наносить следующие покрытия:

  • гидрофобные и гидрофильные
  • барьерные и изоляционные
  • механопрочные, стойкие к царапинам
  • коррозионностойкие
  • противоадгезионные и грязеотталкивающие

AL18.JPG

Параметры

AL18

Габариты рабочей камеры, мм

250 х 290 х 250

Внешние габариты, мм

530 х 600 х 550

Объем рабочей камеры, л

18

Генератор плазмы

2,45 ГГц, до 1200 Вт

Рекомендуемая производительность откачки, м3/час

15-65



AL18 Rack.JPG

Параметры

AL18 Rack

Габариты рабочей камеры, мм

250 х 290 х 250

Внешние габариты, мм

530 х 600 х 1800

Объем рабочей камеры, л

18

Генератор плазмы

2,45 ГГц, до 1200 Вт

13,56 МГц, 600 Вт

Рекомендуемая производительность откачки, м3/час

15-65



AL76 Compact.JPG

Параметры

AL76 Compact

Габариты рабочей камеры, мм

400 х 480 х 400

Внешние габариты, мм

1050 х 800 х 2020

Объем рабочей камеры, л

76

Генератор плазмы

2,45 ГГц, до 1200 Вт

Рекомендуемая производительность откачки, м3/час

до 250



AL76.JPG

Параметры

AL76

Габариты рабочей камеры, мм

400 х 480 х 400

Внешние габариты, мм

770 х 780 х 780

Объем рабочей камеры, л

76

Генератор плазмы

2,45 ГГц, до 1200 Вт

Рекомендуемая производительность откачки, м3/час

до 250



AL100 Compact.JPG

Параметры

AL100 Compact

Габариты рабочей камеры, мм

400 х 480 х 520

Внешние габариты, мм

1050 х 800 х 2020

Объем рабочей камеры, л

100

Генератор плазмы

2,45 ГГц, до 1200 Вт

Рекомендуемая производительность откачки, м3/час

до 250



AL140,160,300 Compact.JPG

Параметры

AL140 / 160 / 300 Compact

Габариты рабочей камеры, мм

по запросу

Внешние габариты, мм

1200 х 900 х 1800

Объем рабочей камеры, л

Максимум 140/160/300

Генератор плазмы

2,45 ГГц, до 1200 Вт

Рекомендуемая производительность откачки, м3/час

до 500



AL800 Compact.JPG

Параметры

AL800 Compact

Габариты рабочей камеры, мм

900 х 920 х 900

Внешние габариты, мм

1050 х 800 х 2020

Объем рабочей камеры, л

720

Генератор плазмы

2,45 ГГц, до 1200 Вт

Рекомендуемая производительность откачки, м3/час

до 500