Системы плазменной обработки, серия AL
Скачать PDF
Установки плазменной обработки серии AL используются, в основном, в полупроводниковой промышленности, гелиотехнике (производстве солнечных модулей) и производстве электронных компонентов для плазменной очистки и активации поверхности. С помощью плазменной обработки можно добиться сверхвысокой чистоты поверхности.
Основное применение этого оборудования – плазменная обработка металлических или пластиковых деталей и поверхностей перед операциями монтажа, склеивания, ультразвуковой или термозвуковой микросварки, нанесения покрытий, лакировки и окраски. Оборудование применяется для очистки деталей из металлов, керамики или стекла – т.е. материалов, способных выдерживать обработку в вакууме.
Установки серии AL также применяются для нанесения покрытий с помощью плазменной полимеризации.
Очистка поверхности
В процессе плазменной очистки с обрабатываемой поверхности удаляются остаточные органические загрязнения. Как правило, перед обработкой плазмой осуществляется предварительная очистка поверхности стандартными физико-химическими способами.
Сверхчистую, практически стерильную, поверхность можно получить с помощью обработки кислородной плазмой. Органические загрязнения связываются кислородом и удаляются из рабочей камеры в течение рабочего цикла. В некоторых случаях используются другие рабочие газы –инертные газы или водород. Рабочий газ выбирается исходя из вида загрязнения, а также характеристик обрабатываемого материала.
Активация поверхности
В случае активации плазмой обрабатывается поверхность полимера. В этом процессе используются такие рабочие газы как аргон, азот, кислород или аммиак (NH3).
Под воздействием плазмы на обрабатываемой поверхности образуются свободные радикалы, формирующие химически активный слой. В результате плазменной активации значительно улучшаются адгезия и смачиваемость поверхности.
Плазменная полимеризация
Плазменная полимеризация используется для нанесения полимерных покрытий. Газообразные полимеры поступают в рабочую камеру, полимеризуются под воздействием плазмы и осаждаются на обрабатываемой поверхности.
С помощью процесса плазменной полимеризации можно наносить следующие покрытия:
- гидрофобные и гидрофильные
- барьерные и изоляционные
- механопрочные, стойкие к царапинам
- коррозионностойкие
- противоадгезионные и грязеотталкивающие
 |
|
 |
|
 |
|
 |
|
 |
|
 |
|
 |
|