Новостная рассылка
компании ЛионТех

Наша рассылка содержит:

- Новинки оборудования
- Акции компании
- Оповещения о семинарах
- Новости компании
- Интересные статьи




+7 (812) 309-27-37
+7 (495) 646-14-76
+7 (800) 555-68-89
micro.jpg
Меню

В вашем браузере отключен java-script.

Включите его в настройках браузера,
или обратитесь к своему системному администратору.


Системы плазменной обработки, серия Q

Системы плазменной обработки, серия Q

Скачать PDF

Установки плазменной обработки серии Q производятся с кварцевыми рабочими камерами круглого сечения. Их основным применением является групповая обработка полупроводниковых пластин – сверхвысокая очистка, плазмохимическое травление, удаление фоторезиста, производство МЭМС.

В установках серии Q используется СВЧ-плазма (2,45 ГГц), влияние которой на сформированную полупроводниковую структуру крайне незначительно, что позволяет эффективно и безопасно использовать её для удаления фоторезиста, сохраняя при этом значительно высокую скорость травления. В качестве рабочего газа, как правило, используется кислород.

Диаметр кварцевых рабочих камер – 150, 240 и 310 мм. По индивидуальному заказу установки серии Q могут быть изготовлены с рабочими камерами других диаметров.

Кроме того, по запросу установки серии Q могут быть выпущены с генератором НЧ (40 кГц) и ВЧ (13,56 МГц) плазмы.

Другие доступные опции:

  • Подкатная тумба
  • Столик с подогревом
  • Столик с охлаждением
  • Клетка Фарадея
  • Увеличение диагонали дисплея блока управления

Q150.JPG

Параметры

Q150

Габариты рабочей камеры

Ø 145 мм / 260 мм

Внешние габариты

(Д х Ш х В), мм

500 х 550 х 370

Генератор плазмы

2,45 ГГц, до 1200 Вт

Рекомендуемая производительность откачки, м3/час

До 40 (масляный)

До 35 (безмасляный)

Диаметр и количество обрабатываемых пластин

До 125 мм / 25 шт.



Q240S.JPG

Параметры

Q240S

Габариты рабочей камеры

Ø 240 мм / 260 мм

Внешние габариты

(Д х Ш х В), мм

620 х 550 х 500

Генератор плазмы

2,45 ГГц, до 1200 Вт

Рекомендуемая производительность откачки, м3/час

До 65 (масляный)

До 35 (безмасляный)

Диаметр и количество обрабатываемых пластин

До 150 мм / 25 шт.



Q240.JPG

Параметры

Q240

Габариты рабочей камеры

Ø 240 мм / 440 мм

Внешние габариты

(Д х Ш х В), мм

760 х 775 х 775

Генератор плазмы

2,45 ГГц, до 1200 Вт

Рекомендуемая производительность откачки, м3/час

До 65 (масляный)

До 120 (безмасляный)

Диаметр и количество обрабатываемых пластин

До 200 мм / 25 шт.