ML300EX WH – автоматическая установка лазерной резки полупроводниковых пластин
Скачать PDF
Техническая спецификация модели ML300EX WH
|
Модель |
ML300EX WH |
|
|
Максимальный размер образца |
Диаметр 200-300 мм |
|
|
Ось Х |
Ход реза |
550 мм |
|
Разрешение |
0,002 мм |
|
|
Прямолинейность |
0,0015 мм / 310 мм (по горизонтали и вертикали) |
|
|
Ось Y |
Ход реза |
427 мм |
|
Разрешение |
0,2 мкм |
|
|
Точность |
0,002 мм / 310 мм |
|
|
Ось Z |
Ход реза |
8,5 мм |
|
Разрешение |
1,0 мкм |
|
|
Точность |
0,001 мм/ 1 мм |
|
|
Ось θ |
Угол поворота |
380° |
|
Коммуникации |
Электропитание |
200/220/240/380/415 В ±10%, 3ф, 50-60 Гц |
|
Потребляемая мощность |
7 кВА (максимум) |
|
|
Сжатый воздух |
0,5 – 0,7 МПа |
|
|
Азот |
0,5 – 0,7 МПа |
|
|
Охлаждающая вода для линейных приводов |
0,2 – 0,5 МПа (водопроводная) |
|
|
Габариты (ШхГхВ) |
1630 х 2327 х 1980 мм |
|
|
Вес |
2500 кг |
|
Параметры поставляемого оборудования могут быть отличны от указанных на сайте, точные характеристики указываются в спецификации при формировании коммерческого предложения.