Универсальная платформа струйной печати для полупроводникового производства n.jet semicon advanced

Платформа n.jet semicon advanced предназначена для нанесения материалов методом струйной печати на полупроводниковые пластины и применяется на этапах front-end и back-end кристального производства. Платформа оснащена роботизированным устройством для захвата и перемещения пластин или иных подложек практически любого размера, с возможностью захвата и удержания по краю. Возможна интеграция с MES-системами (например, SECS-GEM), а также встраивание современных высокотехнологичных модулей пред- и постпроцессинга.

Система автоматического отслеживания ресурса сопел позволяет поддерживать качество и стабильность процесса на высоком уровне. Платформа может быть оснащена модулями прецизионного дозирования, что значительно расширяет технологические возможности оборудования с точки зрения спектра используемых материалов.

Области применения:

• Печать фоторезистов
• Печать элементов сенсоров активными чернилами
• Корпусирование кристаллов
• Печать диэлектрических, резистивных или электропроводных элементов рисунка схемы, нанесение адгезивов

Преимущества и особенности системы:

• Струйная печать с прецизионной точностью
• Точность печати в пределах 5 мкм
• Высокая равномерность печати
• Возможность печати до 8 разных материалов за процесс
• Универсальность и реализация разных задач, благодаря возможности использования печатающих головок от всех основных производителей

Струйная печать – это технология бесконтактной цифровой печати, позволяющая создавать микроструктуры размером 30 мкм и меньше. Бесконтактная печать позволяет наносить материал методом «мокрым по мокрому», а благодаря полностью цифровому управлению процессом отпадает необходимость использования масок или трафаретов. Струйная печать это высокоинтегрированный метод, при котором несколько тысяч сопел могут использоваться для печати со скоростью до 2 метров в секунду.

Струйная печать заменяет традиционные субтрактивные методы изготовления электронных устройств. Благодаря снижению количества отходов и потребления энергии, эта технология делает производство электроники более экологичным и, в то же время, более экономичным.



Автоматизация и интеграция процессов:

Платформа n.jet semicon может быть оснащена роботизированной системой захвата и перемещения пластин и подложек разного размера, а также дополнительными модулями пред- и постпроцессинга. Таким образом может быть построено комплексное решение для конкретной технологической задачи:

• Роботизированная загрузка/выгрузка пластин из кассет
• Работа с электронными картами пластин
• Встраиваемые модули плазменной обработки, термостолы, модули УФ-отверждения и т.п.

Опции:

• Система контроля и визуализации дозирования капель чернил Drop Watcher
• Подогрев рабочего стола до 60ºС
• Вращающийся рабочий стол
• Встраиваемый модуль дозирования
• Станция контроля качества печати
• Автоматизированный захват и перемещение пластин
• HEPA-фильтр, интеграция с перчаточным боксом
• Встраиваемые термостолы и столы для охлаждения
• Считыватель штрихкодов
• Интерфейс SECS/GEM

Общие технические характеристики:

• Размер пластин: 200 мм, 300 мм
• Калибровка: автокалибровка сопел
• Точность: ± 5 мкм
• Повторяемость: ±1 мкм