настольная вакуумная установка групповой термической обработки пластин falcon 25

Настольная серия вакуумных печей FALCON представляет из себя оптимальный вариант компактных размеров и эффективной работы. Модульная конструкция позволяет устанавливать рабочие камеры друг на друга и объединять в единую систему управления и энергоснабжения. Для выполнения определенных технологических процессов заказчика, стандартное исполнение печей можно расширить дополнительными опциями и оснасткой.

Область применения: термический отжиг, осаждение из газовой фазы (LPCVD, MOCVD) поликристаллического кремния или нитрида кремния (Si3N4); эпитаксия; низкотемпературное оксидирование (LTO); термическое окисление; диффузия; процессы TEOS, POCl3, TCA; выращивание графитовых нанотрубок, осаждение молекулярных слоёв.

ВАКУУМНАЯ КАМЕРА

Выполнена из кварцевой трубки. Оснащена тремя технологическими патрубками для вакуумирования, напуска газа и контактного измерения температуры. Загрузка и выгрузка пластин осуществляется вручную через переднюю крышку камеры, вмонтированную в выдвижной фланец.

ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА:

Откачка производится масляным пластинчато-роторным или сухим винтовым насосом. Форвакуумный насос располагается на полу рядом с печью или в технической зоне, с подключением через вакуумную магистраль. Охлаждение паров откачиваемых газов осуществляется через водяную ловушку. Заданное давление в камере поддерживается с помощью программно-управляемого дроссельного клапана. Реализована функция мягкой откачки и плавного напуска.

УПРАВЛЕНИЕ:

Выполнена на базе промышленного компьютера с HMI. Поддерживает следующие возможности: автоматический и ручной режим работы; разграничение прав доступа технолог/оператор; составление рецептов длиной не менее 60 шагов; изменение рецептов; возможность копирования рецептов на внешний носитель; запись и хранение результатов обработки партий.

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ: