Полуавтоматические печи оплавления шариков припоя на полупроводниковых пластинах RFM 200/300
Скачать PDF
Полуавтоматические печи RFM 200/300 предназначены для оплавления шариков припоя на полупроводниковых пластинах в инертной среде, а также в парах муравьиной кислоты. Габариты рабочих камер позволяют размещать в них пластины диаметром до 8”/200 мм и 12”/300 мм. Во время оплавления камера заполняется азотом в автоматическом режиме. Загрузка и выгрузка пластин осуществляется вручную.
В рабочую камеру встроена нагревательная плита с алюминиевым покрытием. Температура нагрева программируется в пределах до 350°С. Однородность температуры по всей поверхности плиты составляет ±5°С.
В печах используется система автоматического подъема пластины на программно заданные высоты. С помощью этой системы достигается точное соблюдение заданного термопрофиля оплавления.
Оплавление в инертной среде азота позволяет избежать окисления припоя. Также оплавление может осуществляться в формир-газе или другой активной газовой среде. Образующиеся во время оплавления пары удаляются из рабочей камеры через отдельное вытяжное отверстие.
Отличительными особенностями RFM 200/300 являются их компактные размеры, небольшая занимаемая площадь и низкий расход потребляемого азота.
Техническая спецификация RFM 200/300
- Герметичная рабочая камера, пайка в среде азота;
- Ручная загрузка/выгрузка пластин;
- Диаметр пластин – до 12” / 300 мм;
- Нагревательная плита с алюминиевым покрытием;
- Программируемый термопрофиль;
- Регулируемое время предварительного нагрева и охлаждения;
- Регулируемая температура оплавления в диапазоне до 350 °С;
- Однородность температуры по всей поверхности плиты ±5 °С;
- Программируемые высоты подъема пластины относительно нагревательной плиты (до 4 уровней);
- Регулируемое время охлаждения потоком азота;
- Скорость охлаждения задается временем охлаждения и скоростью потока азота;
- Контроль расхода азота;
- Вакуумный датчик наличия пластины;
- Ручной механизм для загрузки и выгрузки пластин;
- Оплавление в среде азота с уровнем кислорода менее 50 ppm;
- Вытяжное отверстие;
- Продувка рабочей камеры осуществляется потоком азота;
- Уровень вакуума до 500 мбар;
- Расход азота до 50 л/мин;
- 3 этапа процесса оплавления: предварительный нагрев, оплавление, охлаждение потоком азота;
- Управление: PLC-контроллер с 6” дисплеем. Работа оборудования выполняется в полуавтоматическом режиме;
- Габариты 700 х 700 х 600 мм (ДхШхВ).
Опции
Система подготовки паров муравьиной кислоты, включая
- стеклянная емкость для муравьиной кислоты, объем 1л
- система циркуляции из материалов, стойких к воздействию муравьиной кислоты
- расходомер, настраиваемый вручную (10-100 л/мин)
- кислотостойкий соленоидный клапан.
Параметры поставляемого оборудования могут быть отличны от указанных на сайте, точные характеристики указываются в спецификации при формировании коммерческого предложения.