PALOMAR 6500 - автоматическая многофункциональная высокоточная установка монтажа кристаллов
Скачать PDF
Применение
Модель 6500 предназначена для выполнения полностью автоматической сборки микроэлектронных устройств любой степени сложности с точностью до ±1.5 мкм, флип-чип.
Возможности установки 6500
- Монтаж кристаллов на клей или паяльную пасту;
- Эвтектическая пайка AuSn;
- Контактно-реактивная пайка AuSi с вибрационным воздействием;
- Пайка кристаллов с помощью преформ припоя PbSn;
- «Кристалл на пластине» (Chip-to-Wafer, WSP);
- Встраивание в линию.
|
Параметры |
Palomar 6500 |
|
Рабочая область |
304,8 х 152,4 мм (12" x 6") |
|
Точность монтажа компонента |
1,5 мкм, 3 σ |
|
Усилие прижима |
10 — 100 г |
|
Производительность |
1200 операций /час (зависит от типа материала и процесса) |
|
Точность перемещения по осям Х, Y |
0,1 мкм |
|
Точность перемещения по оси Z |
0,2 мкм |
|
Точность поворота по углу Theta |
0,000225° |
|
Ход рабочей головки по оси Z |
25,4 мм |
|
Угол поворота рабочей головки |
> 400° |
|
Система технического зрения |
Cognex 8000 |
|
Габариты |
900 х 900 х 1778 мм |
|
Вес |
907,19 кг |