СИДМЭЛ SAME201 – УСТАНОВКА МИКРОВОЛНОВОГО ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ
Скачать PDF
СИДМЭЛ SAME201 - установка микроволнового плазмохимического травления, предназначена для удаления пластиковых корпусов микросхем.
При разработке прибора инженеры уделили особенное внимание удобству в работе: система имеет простой и понятный интерфейс, удобные функции для запоминания рецептов, не требует длительного обучения работе, имеет минимальные требования для инсталляции прибора в лаборатории.
Установка SAME201 позволяет травить следующие виды материалов:- оксид кремния
- резисты
- полиимиды
- эпоксидные смолы
Оборудование может быть использовано в научно-исследовательских лабораториях, на опытном и мелкосерийном производстве, а также для выполнения НИОКР.
ПРЕИМУЩЕСТВА:
Плазмохимическое травление более экологично по сравнению с кислотным травлением и менее требовательно к применению средств индивидуальной защиты.
Система SAME201 обеспечивает безопасное и надежное травление пластиковых корпусов с кристаллами, разваренными золотыми, алюминиевыми, медными или серебряными проволочными соединениями. Особое внимание уделяется сохранности работоспособности микросхемы после декапсуляции для проведения исследований или анализа отказов.
Открывает доступ к зондовым, термо- и фото-эмиссионным, электронно-лучевым и другим видам исследования.
|
РАЗМЕРЫ |
|
|
Основной блок (ВхШхГ) |
1400 х 580 х 580 мм |
|
Реакционная камера |
диаметр 200 мм, высота 120 мм |
|
Максимальные размеры образца |
диаметр 160 мм, высота 80 мм |
|
Область травления (по центру) |
15 х 15 мм |
|
СИСТЕМА ЭЛЕКТРОПИТАНИЯ |
|
|
Питание установки |
220 В, 1ф, 50/60 Гц, 6А |
|
ИСПОЛЬЗУЕМЫЕ ГАЗЫ |
|
|
Сжатый воздух |
Давление 8 бар Расход 50 л/мин |
|
Аргон (Ar), Кислород (O2), Азот (N2), тетрафторид углерода (CF4) |
Давление 1-2 бар Регулировка расхода 0-200 мл/мин |
|
ГЕНЕРАТОР ПЛАЗМЫ |
|
|
Мощность (регулируемая) |
0 - 200 Вт |
|
Частота |
2,4 - 2,5 ГГц |
|
Удаленное управление генератором |
Есть |
|
ПАРАМЕТРЫ ТРАВЛЕНИЯ |
|
|
Тип источника |
Surface Wave Plasma Source |
|
Типы материалов для травления |
Диэлектрики: оксид кремния Полимеры: резисты, полиимиды, эпоксидные смолы |
|
Время травления |
Определяется пользователем |
|
Скорость травления |
От 10 мкм/мин |
|
Количество рецептов |
Не ограничено |
|
УПРАВЛЕНИЕ |
|
|
Сенсорный экран, интерфейс на русском языке |
|
|
Операционная система Windows 10 |
|
|
БЕЗОПАСНОСТЬ |
|
|
Система экстренного отключения |
|
|
ОХЛАЖДЕНИЕ ПЛАЗМЕННОГО ИСТОЧНИКА |
|
|
Источник плазмы имеет водяное охлаждение с рециркуляционной охладительной системой |
|
|
Опционально предусмотрена система водяного и воздушного охлаждения |
|