KIR-6120 – инфракрасный инспекционный микроскоп
Скачать PDF
Инфракрасный инспекционный микроскоп KIR-6120 предназначен для проведения неразрушающего контроля полупроводниковых приборов, в частности для выполнения анализа отказов после операции монтажа флип-чипов.
- Неразрушающий контроль WLCSP-компонентов;
- Неразрушающий контроль качества монтажа флип-чипов;
- Контроль интерметаллических соединений AuAl после операции разварки кристаллов и бампинга (Stud bumping);
- Исследование трехмерных структур MEMS;
- Контроль качества полировки структур «кремний на изоляторе» (SOI);
- Возможность работы с пластинами диаметром до 300 мм (12”);
- Контроль целостности структур благодаря системе обработки ИК-изображений;
- Контроль качества межсоединений, недоступных для визуального контроля.
Техническая спецификация KIR-6120
|
Параметры |
KIR-6120 |
|
Увеличение |
50Х – 500Х (максимум 1000Х) |
|
Окуляры |
PL10X/25mm широкоугольные с вынесенной точкой фокусировки |
|
Головка микроскопа |
тринокулярная, 0-35° |
|
Расстояние между окулярами |
50 – 76 мм |
|
Объективы |
NIR 5X, 10X, 20X, 50X, 100X (Nikon, Mutitoyo, Edmond) |
|
Револьверная головка |
BD Sextuple |
|
Корпус |
рефлектор, коаксиальная грубая и точная настройка, ход грубой настройки 33 мм, точность настройки 0,001 мм, встроенный трансформатор 100-240 В |
|
Подсветка |
отраженный источник света с ирисовой и апертурной диафрагмами, слоты для фильтра и поляризатора, галогенная лампа 12В / 100Вт |
|
Рабочий столик |
300 х 350 мм, с зажимом |
|
Перемещение |
356 х 305 мм |
|
Адаптер для камеры |
0.5X/0.56X/1X, С-крепление, настраиваемый фокус |
|
Двойное С-крепление для камер |
для переключения между режимами обычного микроскопа и ИК-микроскопа |