Автоматические установки временного монтажа пластин AFIXX 20a, 30a
AFIXX 20a и 30а – полностью автоматические системы для монтажа пластин и подложек на временный носитель.
Область применения – временный монтаж подложки или пластины на носитель из стекла, сапфира или керамики. Установка может быть использована для монтажа хрупких утоненных пластин, а также подложек из гибких пластиковых материалов. Качество и повторяемость процесса, равномерность прижимного усилия по всей плоскости обеспечивают высокую степень плоскостности и минимальный полный разброс по толщине (TTV) структуры из смонтированных пластины и носителя, что необходимо для последующий процессов обработки пластины – химико-механической полировки (CMP), утонения или травления.
Загрузка и выгрузка пластин, а также процесс временного монтажа выполняется в автоматическом режиме.
AFIXX 20a и 30a оборудованы термостоликом, обеспечивающим нагрев носителей и подложек до 200°С.
Особенности системы:
- Монтаж пластин и прямоугольных подложек
- Полностью автоматизированная система (из кассеты в кассету)
- До 8 кассет для пластины, носителя и пластины на носителе
- Диаметр пластин: AFIXX 20a – до 200 мм (8”); AFIXX 30a – до 300 мм (12”);
- Размер подложек: AFIXX 20a – до 150х150 мм (6”x6”); AFIXX 30a – до 230х230 мм (9”x9”)
- Рабочий диапазон температур термостолика – до 200°С
- Возможность монтажа хрупких утоненных пластин толщиной менее 40 мкм, а также подложек из гибких пластиковых материалов
- Величина прижимного усилия задается в рабочей программе
- Минимальный полный разброс по толщине (TTV)
- Стеклянные дверцы для наблюдения за процессом
- 22” сенсорная панель, управляющее программное обеспечение, Windows 7/10
- Предназначена для средне- и крупносерийного производства
- Опции: автоматизированная загрузка/выгрузка пластин, система поддержания микроклимата, вакуумный насос, термостолик с максимальной температурой 400°С, охлаждающий столик.
Параметры поставляемого оборудования могут быть отличны от указанных на сайте, точные характеристики указываются в спецификации при формировании коммерческого предложения.