Настольная лабораторная центрифуга BASIXX ST20+
Лабораторная центрифуга BASIXX ST20+ это компактная настольная полуавтоматическая установка, предназначенная для реализации процессов фотолитографии – нанесения и проявления фоторезиста, отмывки и сушки пластин.
Установка управляется с помощью встроенной 7” сенсорной панели. Программное обеспечение позволяет создавать, редактировать, сохранять и загружать рабочие программы. Кроме того, предусмотрена возможность создания резервных копий рабочих программ и лог-файлов, а также их экспорта через USB-порт. При необходимости, возможно обновление программного обеспечения. В рабочих программах задаются скорость вращения центрифуги, параметры подачи материала, положение дозирующих насадок и другие параметры процесса.
Центрифуга BASIXX ST20+ разработана для использования в лабораториях, мелкосерийного производства и выполнения НИОКР.
Центрифуга может быть изготовлена в упрощенной модификации BASIXX ST20, в которой отсутствует манипулятор для автоматического дозирования материалов.
Особенности системы:
- Предназначена для работы с пластинами до Ø 200 мм (Ø 8”) или прямоугольными подложками до 150х150 мм (6”x6”)
- Бесщёточный электромотор центрифуги с прямым приводом
- Программное управление всеми подвижными узлами
- До 3 линий подачи материала в стандартной конфигурации (опционально до 5 линий)
- Стандартное сопло для дозирования материала (фоторезиста, ДИ воды и пр.)
- Прозрачная крышка с датчиком контроля её положения. Предотвращение запуска центрифуги с незакрытой крышкой, а также остановка центрифуги при открытии крышки
- Кнопка включения на задней стенке корпуса
- Индикация работы вакуумного клапана
- Фиксация пластин и подложек на держателе с помощью вакуума. Встроенный датчик вакуума для предотвращения запуска центрифуге при недостаточной фиксации пластин/подложек на держателе
- Запуск рабочей программы осуществляется либо с сенсорной панели, либо с помощью кнопки на корпусе
- Управление и программирование с помощью 7” сенсорной панели
- Чаша центрифуги и корпус установки изготовлены из полипропилена
- Чаша центрифуги и брызгозащитное кольцо легко снимаются для очистки
- Каплеуловитель из нержавеющей стали
- Емкость для отходов объемом 0,5 л
- Конструктивно установка может быть выполнена во встраиваемом, настольном и отдельностоящем исполнении
Техническая спецификация BASIXX ST20+
Модель |
BASIXX ST20+ |
Общие |
|
Габариты пластин и подложек |
до Æ200 мм (Æ8”) или до 150х150 мм (6”x6”) |
Скорость вращения центрифуги |
До 10 000* об/мин, программируется с шагом 1 об/мин |
Ускорение |
До 4 000* об/мин за секунду |
Время обработки |
До 999,9 с, шаг 0,1 с |
Чаша центрифуги |
Сменная, изготовлена из полипропилена |
Материал корпуса |
Полипропилен (белый) |
Система дозирования |
|
3 линии подачи материала |
2х24 В, 1 А максимум (для каждой линии), время дозирования от 0,1с |
5 линий подачи материала |
6х24 В, 1 А максимум (для каждой линии), время дозирования от 0,1с |
Коммуникации |
|
Электропитание |
230 В, 1 фаза, нейтраль, заземление, 50/60 Гц |
Вакуум |
-0,8 бар (-600 Торр), внешний диаметр трубки 6 мм |
Вытяжка |
Внешний диаметр 38 мм, 30 м3/ч |
Азот (опция) |
4 ± 0,2 бар, PFA-трубка с внешним диаметром 6 мм |
Чистый сухой воздух (опция) |
8 ± 2 бар, трубка с внешним диаметром 8 мм |
Габариты |
|
Во встраиваемом исполнении (ШхГхВ) |
450 х 510 (560) х 425 мм |
Высота с открытой крышкой |
760 мм |
Параметры поставляемого оборудования могут быть отличны от указанных на сайте, точные характеристики указываются в спецификации при формировании коммерческого предложения.