Встраиваемая лабораторная центрифуга BASIXX SB20+
Лабораторная центрифуга BASIXX SB20+ это встраиваемая в рабочий стол полуавтоматическая установка, предназначенная для реализации процессов фотолитографии – нанесения и проявления фоторезиста, отмывки и сушки пластин.
Установка управляется с помощью встроенной 7” сенсорной панели. Программное обеспечение позволяет создавать, редактировать, сохранять и загружать рабочие программы. Кроме того, предусмотрена возможность создания резервных копий рабочих программ и лог-файлов, а также их экспорта через USB-порт. При необходимости, возможно обновление программного обеспечения. В рабочих программах задаются скорость вращения центрифуги, параметры подачи материала и перемещения манипулятора дозатора, другие параметры процесса.
Центрифуга BASIXX SB20+ разработана для использования в лабораториях, мелкосерийного производства и выполнения НИОКР.
Центрифуга может быть изготовлена в упрощенной модификации BASIXX SB20, в которой отсутствует манипулятор для автоматического дозирования материалов.
Техническая спецификация BASIXX SB20+
Модель |
BASIXX SB20+ |
Общие |
|
Габариты пластин и подложек |
до Æ200 мм (Æ8”) или до 150х150 мм (6”x6”) |
Скорость вращения центрифуги |
До 10 000* об/мин, программируется с шагом 1 об/мин |
Ускорение |
До 4 000* об/мин за секунду |
Время обработки |
До 999,9 с, шаг 0,1 с |
Чаша центрифуги |
Сменная, изготовлена из полипропилена |
Материал корпуса |
Полипропилен (белый) |
Система дозирования |
|
3 линии подачи материала |
2х24 В, 1 А максимум (для каждой линии), время дозирования от 0,1с |
5 линий подачи материала |
6х24 В, 1 А максимум (для каждой линии), время дозирования от 0,1с |
Коммуникации |
|
Электропитание |
230 В, 1 фаза, нейтраль, заземление, 50/60 Гц |
Вакуум |
-0,8 бар (-600 Торр), внешний диаметр трубки 6 мм |
Вытяжка |
Внешний диаметр 38 мм (2 выхода), 30 м3/ч |
Азот (опция) |
4 ± 0,2 бар, PFA-трубка с внешним диаметром 6 мм |
Чистый сухой воздух (опция) |
8 ± 2 бар, трубка с внешним диаметром 8 мм |
Габариты |
|
Во встраиваемом исполнении (ШхГхВ) |
490 х 440 (500) х 432 мм |
Установочная высота |
262 мм |
Высота с открытой крышкой |
480 мм |
Отдельностоящая напольная система |
1200 х 625 (850) х 1200 (1400) мм |
Параметры поставляемого оборудования могут быть отличны от указанных на сайте, точные характеристики указываются в спецификации при формировании коммерческого предложения.