Полуавтоматическая установка нанесения фоторезиста распылением UNIXX-SP 760
Установка UNIXX-SP 760 это инновационная платформа, на базе которой совместно используются два разных метода нанесения фоторезиста распылением. Благодаря новому методу 3D-распыления на вогнутые или выпуклые поверхности, в сочетании с традиционным методом 2D-распыления на плоские поверхности, становится возможным нанесение фоторезиста на подложки любой геометрии и формы, используя только одну единицу оборудования. Типовое применение – нанесение фоторезиста на структуры с высокой топологией (МЭМС).
Интерфейс управляющего программного обеспечения удобен, интуитивно понятен и обладает всеми необходимыми функциями, такими как создание рабочих программ, удаленное управление, имитационное моделирование работы установки, администрирование учетных записей.
Особенности системы:
- 2D-распыление на круглые пластины – диаметр пластин от 200 мм до 300 мм
- 2D-распыление на плоские подложки – размер подложек от 225 х 225 мм (9” x 9”) до 525 х 525 мм (21” x 21”)
- 3D-распыление на вогнутые или выпуклые поверхности – крупногабаритные оптические устройства высотой до 300 мм
- 6-осевой робот-манипулятор
- Интегрированная нагревательная плита в рабочем столе установки
- Ультразвуковое сопло для распыления фоторезиста.
- Возможность использования двух разных ультразвуковых сопел. Функция автоматической смены сопла
- Два каплеуловителя для каждого сопла
- Отходы - слив в канистру или подключение к инженерным сетям заказчика
- Управление: компьютер, ОС Windows, 22” сенсорный монитор, программное обеспечение, имитационное моделирование процесса распыления, запись лог-файла, интерфейс для удаленного управления и диагностики, USB-порт для загрузки и выгрузки данных
- Сигнальный маяк для визуализации статуса работы системы
- Опции: система дозирования фоторезиста с помощью помпы, из шприца или из канистры давлением
- Шесть цифровых пневмодатчиков с функцией аварийной сигнализации: сжатый воздух, азот, вакуум общий, вакуум для распылителя, вакуум для термостола, вытяжная система
Техническая спецификация UNIXX SP760
Модель |
UNIXX SP760 |
Общие |
|
Габариты пластин и подложек |
От Æ200 мм (Æ8”) до Æ300 мм (Æ12”) или от 225х225 мм (9”x9”) до 525х525 мм (21”x21”) |
Рама системы |
Стенки из нержавеющей стали с порошковым покрытием, запираемые прозрачные дверцы для доступа в рабочую зону |
Термостол |
Анодированный алюминий с тефлоновым покрытием |
Коммуникации |
|
Электропитание |
3х400 VAC/N/PE, 50-60 Гц, 16А |
Чистый сухой воздух |
8 ± 2 бар, внешний диаметр трубки 8 мм |
Азот |
4 ± 0,2 бар, внешний диаметр трубки 8 мм |
Вакуум |
-0,8 бар (-600 Торр), внешний диаметр трубки 8 мм |
Вытяжка |
50-180 м3/ч, внешний диаметр 110 мм |
Слив |
Канистра с датчиком уровня заполнения или подключение к инженерным сетям заказчика |
Габариты |
|
Напольное исполнение |
1100 х 1030 х 2050/2550 мм |
Параметры поставляемого оборудования могут быть отличны от указанных на сайте, точные характеристики указываются в спецификации при формировании коммерческого предложения.