Полуавтоматическая установка нанесения, сушки и задубливания фоторезиста UNIXX SH22E
Установка UNIXX SH22e это напольная система с центрифугой и термостоликом для нанесения фоторезиста на пластины диаметром до 200 мм (8”) и подложки размером до 150 х 150 мм (6”x6”).
Установка управляется с помощью встроенной 7” сенсорной панели. Программное обеспечение позволяет создавать, редактировать, сохранять и загружать рабочие программы. Кроме того, предусмотрена возможность создания резервных копий рабочих программ и лог-файлов, а также их экспорта через USB-порт. При необходимости, возможно обновление программного обеспечения. В рабочих программах задаются скорость вращения центрифуги, параметры подачи материала, положение дозирующих насадок, режимы работы термостолика и другие параметры процесса.
Особенности системы:
- Напольная отдельностоящая конструкция со встроенными модулями центрифугирования и термообработки
- Возможность подключения слива к инженерной системе заказчика
- Встроенный модуль UNIXX SB20 – центрифуга для нанесения фоторезиста
- Встроенный модуль UNIXX HB20e – термостолик для сушки и задубливания фоторезиста
- 7” сенсорная панель для управления всеми модулями, входящими в состав установки
- USB-порт для обновления программного обеспечения
- Интерфейс Ethernet
- Система отмывки чаши центрифуги
- Сменная чаша
- Манипулятор для автоматического дозирования фоторезиста
- OOPX Osiris Oyster – прецизионная дозирующая помпа для фоторезиста
- Удаление наплывов фоторезиста с краев пластины (EBR)
- Герметичный каплеуловитель
- Вакуумный держатель пластин
- Резервуар для растворителя с помпой, объем 10л
- Канистра для отходов, объем 5 л
Техническая спецификация UNIXX SH22e
Модель |
UNIXX SH22e |
Центрифуга |
|
Габариты пластин и подложек |
до Æ200 мм (Æ8”) или до 150х150 мм (6”x6”) |
Скорость вращения центрифуги |
До 10 000* об/мин, программируется с шагом 1 об/мин |
Ускорение |
До 4 000* об/мин за секунду |
Время обработки |
До 999,9 с, шаг 0,1 с |
Чаша центрифуги |
Сменная, изготовлена из полипропилена |
Термостолик |
|
Габариты пластин и подложек |
до Æ200 мм (Æ8”) или до 150х150 мм (6”x6”) |
Диапазон рабочих температур |
До 300°С, шаг 1°С |
Точность поддержания температуры |
±1°С при 100°С |
Подъемные штифты |
1 комплект, диаметр расположения штифтов 100 мм |
Коммуникации |
|
Электропитание |
3х400 VAC/N/PE, 50-60 Гц, 32А |
Чистый сухой воздух |
8 ± 2 бар, внешний диаметр трубки 10 мм |
Азот |
4 ± 0,2 бар, внешний диаметр трубки 10 мм |
Вакуум |
-0,8 бар (-600 Торр), внешний диаметр трубки 10 мм |
Вытяжка |
Центрифуга: макс., 30 м3/ч, внешний диаметр 110 мм Отсек для хранения реактивов: макс., 200 м3/ч, внешний диаметр 110 мм Термостолик: макс., 30 м3/ч, внешний диаметр 63 мм |
Габариты |
|
Напольное исполнение |
1200 х 620 х 1500 мм |
Параметры поставляемого оборудования могут быть отличны от указанных на сайте, точные характеристики указываются в спецификации при формировании коммерческого предложения.