Полуавтоматическая система жидкостной химической обработки пластин CHEMIXX 30PM

Установка CHEMIXX 30pm это универсальная компактная система жидкостной химической обработки полупроводниковых пластин. Сочетание гибкости и низкой стоимости владения позволяет эффективно использовать эту установку как в опытном, так и серийном производстве.

Установка управляется с помощью встроенной 7” сенсорной панели. Программное обеспечение позволяет создавать, редактировать, сохранять и загружать рабочие программы, выполнять техническое обслуживание оборудования. Предусмотрена возможность создания резервных копий рабочих программ и лог-файлов, их экспорта через USB-пор, а также обновления программного обеспечения.
Запатентованная конструкция держателя пластин позволяет выполнять одновременную обработку обеих сторон пластины различными методами и реактивами.

Особенности системы: 

• Предназначена для работы с пластинами до Ø 300 мм (Ø 12”) или прямоугольными подложками до 230 х 230 мм (9”x9”)
• Один или два манипулятора для автоматического дозирования реактивов (до 6 линий на каждой) с возможностью хода по оси Z
• Подогрев реактивов до 60°С
• Обработка водорастворимыми реактивами
• Подача реактивов через стандартное сопло (puddle), спреем или распылением через форсунку
• Высоконапорная и/или мегазвуковая очистка пластин
• Программное управление всеми подвижными узлами и линиями подачи реактивов
• Рабочая камера и корпус установки изготовлены из полипропилена
• Камера для размещения 3 (трех) емкостей с реактивами, с интегрированными насосами, датчиками остаточного уровня и датчиком утечки реактива
• Фильтры для водорастворимых реактивов
• Управление и программирование с помощью 7” сенсорной панели
• Стандартные или индивидуально изготовленные держатели пластин или подложек
• Компактная конструкция
• Предназначена для использования в лабораториях, мелкосерийного производства и выполнения НИОКР