Полуавтоматическая установка селективного нанесения материалов методом струйной печати UNIXX INK20

Установка UNIXX INK20 предназначена для селективного нанесения различных материалов на полупроводниковые пластины и другие типы подложек методом струйной печати. Основная область применения – нанесение фоторезистов или адгезионных покрытий. Технология струйной печати обеспечивает превосходные повторяемость и равномерность нанесения материалов на пластины диаметром до 200 мм или подложки размером до 150х150 мм. Установка UNIXX INK20 может использоваться в лабораториях, для выполнения НИОКР, а также для мелкосерийного производства.

Особенности системы:
• Рабочая область: - диаметр пластин до 200 мм; - размеры подложек до 150х150 мм;
• Быстрое и безопасное селективное нанесение различных материалов;
• Возможность нанесения материалов, как содержащих, так и не содержащих растворители;
• Процесс обеспечивает равномерное нанесение материала по всей площади пластины, без образования краевого валика;
• Возможность нанесения материалов на края пластин или подложек;
• Оборудование предназначено для использования в лабораториях и мелкосерийном производстве.

Управление:
• 10” сенсорная панель управления всеми модулями, входящими в состав установки;
• Начало процесса выполняется по нажатию кнопки на сенсорной панели, либо по нажатию физической кнопки, расположенной на фронтальной панели корпуса;
• Встроенное программное обеспечение для подготовки и редактирования рабочих программ;
• USB-порт для загрузки/выгрузки данных и обновления программного обеспечения;
• Источник бесперебойного питания для панели управления, обеспечивающий возможность сохранения данных при отключении электропитания.

Термостолик:
• Для пластин диаметром до 200 мм;
• Нагрев до 150ׄ°С с шагом 0,1°С;
• Равномерность температуры в пределах ± 0,5°С при 100°С;
• Термостолик открытого типа;
• Покрытие – твердое анодирование и тефлон;
• Встроенная вытяжная система;
• Защитная маска на поверхность термостолика (опция).

Автоматизация процесса: Струйная печать фоторезистов и других материалов может быть полностью автоматизирована и выполняться в кластере с автоматической загрузкой/выгрузкой пластин из магазина в магазин и станциями пред- и постобработки – плазменной очистки, термического или ультрафиолетового задубливания нанесенных материалов.

Кластер оснащен системой автоматической подачи материалов, а также автоматической станцией очистки и резервуаром для отходов. Система оптического совмещения и калибровка сопла позволяют получать высокоточные результаты печати. Автоматическая система струйной печати может быть оборудована несколькими промышленными печатающими головками и термостолами с регулируемой температурой нагрева.

Пример автоматизированного кластера для струйной печати фоторезистов и иных покрытий.

Техническая спецификация модели UNIXX INK20