Напольные сушильные шкафы серии LCC/LCD2-14 для чистых комнат
Скачать PDF
Напольные сушильные шкафы серии LCC/LCD2-14 предназначены для использования в R&D лабораториях и мелко-среднесерийном производстве. Широкий набор опций позволяет скомплектовать шкаф в соответствии с требованиями заказчика.
Типовым применением шкафов LCC/LCD2-14 в полупроводниковом производстве является операция сушки клея после монтажа кристаллов. Шкаф может быть также использован для других технологических операций, применяемых в процессе корпусирования микросхем и полупроводниковых приборов. Шкафы серии LCC/LCD2-14 применяются в медико-биологической промышленности для процессов сухожаровой депирогенизации и стерилизации.
Шкафы оснащены HEPA-фильтрами и, таким образом, могут быть использованы в производственных помещениях с высокими требованиями к чистоте воздуха. Нагретый воздух, циркулирующий внутри рабочей камеры, полностью очищается HEPA-фильтрами. Шкафы LCC/LCD2-14 соответствуют требованиям ISO Class 5 (класс 100).
Шкафы LCC/LCD2-14 могут также производиться без HEPA-фильтрации.
Особенности системы:
- Доступны три конфигурации, в зависимости от типа атмосферы в рабочей камере:
- Воздух. Шкафы данной конфигурации оснащены принудительной вытяжкой для ускорения охлаждения;
- Воздух Класс А. Взрывозащищенное исполнение. Используется для работы с материалами, содержащими легковоспламеняющиеся вещества. Шкафы оснащены панелью сброса давления, таймером продувки и принудительной вытяжкой. Соответствуют требованиям NFPA 86;
- Азот. Концентрация кислорода в азоте 100 ppm. Оснащены системой водяного охлаждения и программируемым устройством управления систем подачи азота и водяного охлаждения;
- Аварийный выключатель расположен на лицевой панели шкафа;
- Микропроцессорный контроллер температуры Protocol 3TM с большим ЖК-дисплеем;
- Дверь рабочей камеры оснащена электронным программируемым замком, предотвращающим случайное открытие двери оператором до завершения цикла сушки;
- Внутренние и внешние облицовочные панели изготовлены из нержавеющей стали. Все стыки панелей заварены, что обеспечивает защиту рабочей камеры от проникновения загрязнений;
- Система HEPA-фильтрации, соответствие требованиям ISO Class 5 (класс 100). Система оснащена датчиком перепада давления Magnehelic, контролирующим падение давления, что позволяет выполнять своевременную замену HEPA-фильтров по мере их загрязнения;
- Порт RS485 для удаленного контроля и мониторинга работы сушильного шкафа;
- Звуковой сигнал, оповещающий о достижении предельной температуры или завершении цикла сушки;
- Функция непрерывной записи температурного режима в рабочей камере в файл регистрации с возможностью экспорта данных через USB-порт.
Опции:
- Конструкция и сборка без применения силиконовых герметиков и уплотнителей;
- Конструкция без системы HEPA-фильтрации;
- Сушка в среде азота;
- Система автоматического выключения нагревателей и вентилятора при открытии двери;
- Дополнительная дверь с задней стороны;
- Регистрирующий самописец;
- Трехцветный сигнальный фонарь;
- Дополнительные полки;
- Система контроля концентрации кислорода;
- Программное обеспечение для сбора и обработки информации;
- Очистка и тщательная тройная упаковка в чистой комнате перед транспортировкой;
- Другие опции по требованию заказчика;
- CE сертификат.
|
Серия LCC/LCD2-14 |
2-14 |
|
Габариты рабочей камеры (ШхГхВ), см * Реальный размер меньше на 3,8 см из-за наличия направляющих для полок с каждой стороны шириной 1,9 см |
64*х66х94 см |
|
Объем рабочей камеры, л |
396 |
|
Внешние размеры (ШхГхВ), см * с опцией дополнительной двери на задней стенке |
121х105х180 см * 121х125х180 см |
|
Электропитание 50/60 Гц, трехфазное |
380 В / 16 кВт |
|
Количество полок в стандартной комплектации |
2 |
|
Максимальное количество полок |
11 |
|
Вес нетто, кг |
434 |
|
Вес брутто, кг |
477 |
|
Серия LCC/LCD2-14 |
2-14 | |
|
Время нагрева без загрузки |
От 50°С до 100°С |
3 минут |
|
От 50°С до 200°С |
9 минут | |
|
От 50°С до 260°С |
15 минут | |
|
От 50°С до 350°С* |
35 минут | |
|
Время охлаждения без загрузки * температура охлаждающей воды 13°С, поток 11,4 л/мин |
От 100°С до 65°С |
41 минута (воздух) 15 минут (азот)* |
|
От 175°С до 65°С |
82 минуты (воздух) 20 минут (азот)* | |
|
От 260°С до 65°С |
95 минут (воздух) 25 минут (азот)* | |
|
От 350°С до 65°С* |
116 минут (воздух) 30 минут (азот)* | |
|
Температурная однородность |
При 100°С |
± 1°С |
|
При 175°С |
± 2°С | |
|
При 260°С |
± 3°С | |
|
При 350°С |
± 3,5°С | |
|
Диапазон рабочих температур (воздух/азот) |
50°С-260°С / 30°С-260°С | |
|
Устойчивость регулирования |
± 0,5°С | |
|
Максимальная загрузка |
181 кг | |
|
Максимальная нагрузка на полку |
23 кг | |
|
Рециркуляционный вентилятор |
1,5 ЛС / 448 л/с |
|
* только для LCD2-14
Параметры поставляемого оборудования могут быть отличны от указанных на сайте, точные характеристики указываются в спецификации при формировании коммерческого предложения.