Штабелируемые сушильные шкафы серий LCC/LCD для чистых комнат
Скачать PDF
Сушильные шкафы серии LCC/LCD спроектированы таким образом, что их можно устанавливать друг на друга и за счет этого экономить занимаемую площадь в рабочем помещении.
Типовым применением шкафов LCC/LCD в полупроводниковом производстве является операция сушки клея после монтажа кристаллов. Шкаф может быть также использован для других технологических операций, применяемых в процессе корпусирования микросхем и полупроводниковых приборов. Шкафы серии LCC/LCD применяются в медико-биологической промышленности для процессов сухожаровой депирогенизации и стерилизации.
Шкафы оснащены HEPA-фильтрами и, таким образом, могут быть использованы в производственных помещениях с высокими требованиями к чистоте воздуха. Нагретый воздух, циркулирующий внутри рабочей камеры, полностью очищается HEPA-фильтрами. Шкафы LCC/LCD соответствуют требованиям ISO Class 5 (класс 100).
Шкафы LCC/LCD могут также производиться без HEPA-фильтрации.
Особенности системы:
- Максимальная рабочая температура – 260°С (LCC), 350°С (LCD);
- Атмосфера в рабочей камере – воздух или очищенный азот (концентрация кислорода в азоте 100 ppm);
- Все шкафы серии LCC/LCD оснащены принудительной вытяжкой для ускорения охлаждения;
- Шкафы, работающие в среде азота, оснащены программируемым устройством управления систем подачи азота и водяного охлаждения;
- Аварийный выключатель расположен на лицевой панели шкафа;
- Микропроцессорный контроллер температуры Protocol 3TM с большим ЖК-дисплеем;
- Функция непрерывной записи температурного режима в рабочей камере в файл регистрации с возможностью экспорта данных через USB-порт;
- Внутренние и внешние облицовочные панели изготовлены из нержавеющей стали. Все стыки панелей заварены, что обеспечивает защиту рабочей камеры от проникновения загрязнений;
- Дверь рабочей камеры оснащена электронным программируемым замком, предотвращающим случайное открытие двери оператором до завершения цикла сушки;
- Конструкция шкафов позволяет устанавливать их друг на друга;
- Система HEPA-фильтрации, соответствие требованиям ISO Class 5 (класс 100). Система оснащена датчиком перепада давления Magnehelic, контролирующим падение давления, что позволяет выполнять своевременную замену HEPA-фильтров по мере их загрязнения;
- Порт RS485 для удаленного контроля и мониторинга работы сушильного шкафа;
- Звуковой сигнал, оповещающий о достижении предельной температуры или завершении цикла сушки.
- Конструкция и сборка без применения силиконовых герметиков и уплотнителей;
- Конструкция без системы HEPA-фильтрации;
- HEPA-фильтр для интенсивного потока воздуха;
- Сушка в среде азота;
- Система автоматического выключения нагревателей и вентилятора при открытии двери;
- Регистрирующий самописец;
- Трехцветный сигнальный фонарь;
- Закрытое основание с регулируемыми по высоте ножками;
- Дополнительные полки;
- Система контроля концентрации кислорода;
- Программное обеспечение для сбора и обработки информации;
- Очистка и тщательная тройная упаковка в чистой комнате перед транспортировкой;
- Другие опции по требованию заказчика;
- CE сертификат.
Техническая спецификация
|
Серия LCC/LCD |
1-16 |
1-51 |
|
Габариты рабочей камеры (ШхГхВ), см * Реальный размер меньше на 3,8 см из-за наличия направляющих для полок с каждой стороны шириной 1,9 см |
36*х36х36 см |
58*х51х51 см |
|
Объем рабочей камеры, л |
45 |
144 |
|
Внешние размеры (ШхГхВ), см |
83х90х53 см |
103х108х68 см |
|
Электропитание 50/60 Гц, 1 фаза |
220-240 В / 3 кВт |
220-240 В / 6 кВт |
|
Количество полок в стандартной комплектации |
2 |
2 |
|
Максимальное количество полок |
5 |
8 |
|
Вес нетто, кг |
114 |
172 |
|
Вес брутто, кг |
159 |
238 |
|
Серия LCC/LCD |
1-16 |
1-51 | |
|
Время нагрева без загрузки |
От 40°С до 100°С |
7 минут |
5 минут |
|
От 40°С до 200°С |
30 минут |
27 минут | |
|
От 40°С до 260°С |
45 минут |
35 минут | |
|
От 40°С до 350°С* |
60 минут |
50 минут | |
|
Время охлаждения без загрузки * температура охлаждающей воды 16°С, поток 16 л/мин |
От 100°С до 55°С |
35 минут (воздух) 30 минут (азот) |
40 минут (воздух) 25 минут (азот) |
|
От 200°С до 55°С |
65 минут (воздух) 55 минут (азот) |
75 минут (воздух) 40 минут (азот) | |
|
От 260°С до 55°С |
75 минут (воздух) 60 минут (азот) |
85 минут (воздух) 45 минут (азот) | |
|
От 350°С до 55°С* |
90 минут (воздух) 80 минут (азот) |
100 минут (воздух) 50 минут (азот) | |
|
Температурная однородность |
При 100°С |
± 1°С |
± 1°С |
|
При 200°С |
± 2°С |
± 2°С | |
|
При 260°С |
± 3°С |
± 3°С | |
|
При 350°С |
± 4°С |
± 4°С | |
|
Диапазон рабочих температур (воздух/азот) |
40°С-350°С / 35°С-350°С | ||
|
Устойчивость регулирования |
± 0,5°С | ||
|
Максимальная загрузка |
90 кг | ||
|
Максимальная нагрузка на полку |
23 кг |
11 кг | |
|
Рециркуляционный вентилятор |
0,25 ЛС / 113 л/с |
0,25 ЛС / 205 л/с | |