Рентгеновская установка UNICOMP AX9600
Рентгеновская установка UNICOMP AX9600 обеспечивает неразрушающий контроль микроэлектронных изделий, позволяя выявлять внутренние конструктивные нарушения — такие как пустоты, трещины паяных соединений, смещения элементов и дефекты формирования сквозных отверстий в многослойных структурах и прочих промышленных изделиях с высокими требованиями к детализации.
Система использует микрофокусную рентгеновскую трубку открытого типа с напряжением до 160 кВ, мощностью 64 Вт и минимальным разрешением 1 мкм. Плоскопанельный детектор с матрицей 1536×1536 и пикселем 84 мкм обеспечивает системное увеличение до 34 000×.
Ключевые особенности:
-
Рентгеновская трубка открытого типа
-
Поиск дефектов наноразмера
-
Область загрузки и контроля 520×520 мм.
-
Наклон детектора XY до ±70° для аксонометрической инспекции.
-
Автоматическая дверь.
-
Автоматический подсчёт пустот для BGA, QFN и других компонентов с выводом отчёта.
-
CNC-автоинспекция с поддержкой одиночных точек и матриц, графический вывод результатов.
-
HDR-обработка: динамическое выравнивание яркости с сохранением деталей в самых тёмных и самых светлых областях.
-
Инструменты измерения: расстояние, угол, диаметр, многоугольник и др.
-
Управление через мышь, клавиатуру и джойстик.
-
Монитор 34" 4K изогнутый.
-
Радиационная безопасность менее 1 мкЗв/ч с визуализацией состояния рентгеновской трубки.
-
Двухканальный доступ по паролю или отпечатку пальца.
Система ориентирована на полупроводниковое производство и лаборатории, требующие максимального увеличения и высокой детализации и точности позиционирования.
|
Категория |
Параметр |
Значение |
|
Система |
Назначение |
Полупроводниковая микрофокусная рентгеновская инспекция |
|
Режимы работы |
Инспекция |
2D, 2.5D |
|
Рентгеновская трубка |
Тип |
Открытая |
|
Напряжение |
160 кВ |
|
|
Мощность |
64 Вт |
|
|
Мин. разрешение |
1 мкм |
|
|
Детектор |
Тип |
Плоскопанельный (FPD) |
|
Матрица пикселей |
1536 × 1536 |
|
|
Размер пикселя |
84 мкм |
|
|
Область детектра |
129 × 129 мм |
|
|
Макс. частота кадров |
30 кадров/с |
|
|
Изображение |
Системное увеличение |
до 34 000× |
|
Механика и загрузка |
Область загрузки |
520 × 520 мм |
|
Макс. область контроля |
520 × 520 мм |
|
|
Ход оси X/Y/Z |
550/710/265 мм |
|
|
Наклон детектора |
±70° |
|
|
Программное обеспечение |
Навигация и позиционирование |
Быстрое позиционирование по физическому изображению |
|
Автоматический подсчёт |
Пустоты для BGA, QFN и др., вывод отчёта |
|
|
CNC-автоинспекция |
Поддержка одиночных точек и матриц, графический вывод |
|
|
HDR-обработка |
Динамическое выравнивание яркости, сохранение деталей |
|
|
Инструменты измерения |
Расстояние, угол, диаметр, многоугольник и др. |
|
|
Электропитание |
Напряжение |
220 В, 50/60 Гц |
|
Потребляемая мощность |
2000 Вт |
|
|
Управление |
Способ управления |
Мышь + клавиатура + джойстик |
|
Промышленный ПК |
Монитор |
34" HD 4K изогнутый |
|
Физические параметры |
Габариты (Ш×Г×В) |
≈ 1690 × 2116 × 1880 мм |
|
Вес |
≈ 4600 кг |
|
|
Безопасность |
Открытие двери |
Автоматическая |
|
Управление доступом |
Отпечаток пальца + пароль (двухканальный) |
|
|
Радиационная безопасность |
< 1 мкЗв/ч |