DCM 40/60 - микроскоп с двойным обзором для контроля лицевой и обратной стороны полупроводниковой пластины
Микроскопы DCM-40/60 предназначены для сравнения рисунков топологии на лицевой и обратной стороне полупроводниковой пластины. Сравнение выполняется путем наложения изображений обоих сторон пластины в одном поле зрения (как правило, с выводом на экран монитора). Таким образом могут быть легко обнаружены любые несоответствия между рисунками топологии и измерено рассовмещение слоев друг относительно друга.
В микроскопах используются объективы с увеличением 5х, 10х, 20х и 40х.
Максимальный диаметр пластин - 100 мм (DCM-40) или 150 мм (DCM-60).
Особенности:
- Легкая настройка совмещения осей верхнего и нижнего объективов
- Возможность использования разных предметных столов
- Разъем C-Mount для подключения камеры
- Возможность просмотра только лицевой или только обратной стороны пластины
Параметры поставляемого оборудования могут быть отличны от указанных на сайте, точные характеристики указываются в спецификации при формировании коммерческого предложения.