HISOMET2-DH2 – микроскоп для бесконтактных 3-осевых измерений
Скачать PDF
HISOMET2-DH2 это измерительная система, обладающая возможностью высокоточной фокусировки, благодаря встроенным в оптическую систему микроскопа светоделительной призмы и окулярной сетки, выполняющей роль фокусной метки, которая проецируется на поверхность образца. Даже при незначительной расфокусировке фокусная метка отображается разделенной на две части. И только в состоянии фокуса на поверхности образца, верхняя и нижняя части фокусной метки полностью совмещаются друг с другом.
Полное совмещение вертикальных линий нижней и верхней частей фокусной метки, а не субъективная оценка степени размытия изображения поверхности образца, является подтверждением, что выполнена точная фокусировка на образце.
Поскольку это уникальная система не зависит ни от глубины резкости объективов, ни от способности человеческого глаза различать две точки, фокус может быть определен очень точно по сравнению с другими системами фокусировки.
Благодаря этому принципу фокусировки и используемому в микроскопе цифровому датчику линейного перемещения, обеспечивается высокая точность измерения разности высот между поверхностями исследуемого образца.
Преимущества:
|
Поскольку фокус определяется бесконтактным методом, измерения выполняются без риска физического повреждения образца – деформации, формирования царапин или выбоин и т.п. |
|
| Возможно выполнение измерений по осям XYZ относительно ранее заданной референтной точки одновременно с исследованием поверхности образца в поле зрения объектива |
|
| Точность измерения может быть повышена при использовании объективов с большей кратностью увеличения |
|
|
В зависимости от типа поверхности измеряемого образца, можно использовать разные фокусные метки – «черное на белом» или «белое на черном. Фокусную метку можно выбрать с помощью рычажка или совсем убрать, если необходимо сделать фотографию. Поскольку фокусная метка проецируется на поверхность образца, то этот метод фокусировки можно применять для измерения высот образцов из полностью прозрачных материалов, либо образцов с отражающими поверхностями. |
 |
Для некоторых задач могут быть удобны к использованию групповые фокусные метки.
Преимущества использования групповых фокусных меток:
-
Все измерения выполняются в поле зрения объектива
-
Нет необходимости перемещать образец в плоскости XY
-
Сокращение времени, необходимого затрачивать на измерения
Технические характеристики
|
Ось Z |
|||||||||
|
Ход: - грубая регулировка - точная регулировка |
140 мм 25 мм |
||||||||
|
Максимальная высота образца |
150 мм |
||||||||
|
Разрешение высокоточного линейного датчика перемещения по оси Z |
0,1 мкм, 0,5 мкм, 1 мкм / 25 мм |
||||||||
|
Точность измерения (при использовании 40х объектива) |
1,0 мкм, 3s |
||||||||
|
Источник отраженного или проходящего света |
Светодиодный белый, 3 Вт |
||||||||
|
Оптический блок |
|||||||||
|
Тип |
Бинокулярный, с резьбовым креплением типа С (C-mount) для цифровых фото- и видеокамер |
||||||||
|
Сменные объективы |
3х, 5х, 10х, 20х, 40х, 50х, 100х |
||||||||
|
Диаметр поля зрения окуляров |
16 мм |
||||||||
|
Предметный стол |
|||||||||
|
Тип |
0505 |
1005 |
1010 |
1515 |
2010 |
2020 |
3015 |
3030 |
|
|
Размеры предметного стекла, мм |
Диам. 150 |
170х120 |
Диам. 205 |
Диам. 260 |
280х170 |
290х290 |
370х220 |
370х370 |
|
|
Ход XY, мм |
50х50 |
100х50 |
100х100 |
150х150 |
200х100 |
200х200 |
300х150 |
300х300 |
|
|
Точность измерения |
Ось X: 4+0,02L мкм Ось Y: 4+0,02L мкм L – расстояние перемещения, мм |
||||||||
|
Угол поворота |
360° |
- |
360° |
360° |
- |
- |
- |
- |
|
|
Размеры предметного стола, мм |
210х210х95 |
270х210х95 |
270х270х95 |
320х320х95 |
430х270х95 |
430х430х95 |
520х320х95 |
520х520х109 |
|
|
Габариты и вес |
|||||||||
|
A, мм |
300 |
300 |
300 |
350 |
300 |
430 |
350 |
430 |
|
|
B, мм |
195 |
195 |
195 |
195 |
195 |
195 |
195 |
209 |
|
|
C, мм |
440 |
440 |
440 |
530 |
440 |
670 |
530 |
820 |
|
|
D, мм |
515 |
515 |
515 |
530 |
515 |
530 |
530 |
520 |
|
|
Вес, кг |
58 |
61 |
63 |
91 |
69 |
137 |
101 |
169 |
|
Внешний вид предметных столов
Внешний вид микроскопа HISOMET2-DH2
