Полуавтоматическая установка временного монтажа пластин AFIXX 30s

AFIXX 30s – напольная полуавтоматическая система для монтажа пластин и подложек на временный носитель.

Область применения – временный монтаж подложки или пластины на носитель из стекла, сапфира или керамики. Установка может быть использована для монтажа хрупких утоненных пластин, а также подложек из гибких пластиковых материалов. Качество и повторяемость процесса, равномерность прижимного усилия по всей плоскости обеспечивают высокую степень плоскостности и минимальный полный разброс по толщине (TTV) структуры из смонтированных пластины и носителя, что необходимо для последующий процессов обработки пластины – химико-механической полировки (CMP), утонения или травления.

Загрузка и выгрузка пластин осуществляется вручную. Установка может быть оборудована автоматической загрузочно-разгрузочной системой. Процесс временного монтажа выполняется в автоматическом режиме.

AFIXX 30s оборудована термостоликом, обеспечивающим нагрев носителей и подложек до 200°С.

Особенности системы:

• Монтаж пластин и прямоугольных подложек
• Диаметр пластин до 300 мм (12”)
• Размер подложек до 230х230 мм (9”x9”)
• Рабочий диапазон температур термостолика – до 200°С
• Загрузка и выгрузка пластин и подложек осуществляется вручную. Процесс монтажа на временный носитель полностью автоматизирован
• Возможность монтажа хрупких утоненных пластин толщиной менее 40 мкм, а также подложек из гибких пластиковых материалов
• Лазерные метки для точного совмещения пластины и носителя
• Минимальный полный разброс по толщине (TTV)
• Стеклянные дверцы для наблюдения за процессом
• 22” сенсорная панель, управляющее программное обеспечение, Windows 7/10
• Предназначена для среднесерийного производства
• Опции: автоматизированная загрузка/выгрузка пластин, система поддержания микроклимата, вакуумный насос, термостолик с максимальной температурой 400°С, охлаждающий столик

Техническая спецификация AFIXX 30s