Ручная установка временного монтажа пластин AFIXX 20m

AFIXX 20m – настольная ручная система для монтажа пластин и подложек на временный носитель. Это универсальная система, которая предназначена для мелкосерийного производства и выполнения НИОКР.
Область применения – временный монтаж подложки или пластины на носитель из стекла, сапфира или керамики. Установка может быть использована для монтажа хрупких утоненных пластин, а также подложек из гибких пластиковых материалов
AFIXX 20m оборудована термостоликом, обеспечивающим нагрев носителей и подложек до 200°С.
Особенности системы:
- Монтаж пластин и прямоугольных подложек
- Диаметр пластин до 200 мм (8”). Монтаж пластин диаметром 300 мм (12”) - опция
- Размер подложек до 150х150 мм (6”x6”)
- Рабочий диапазон температур термостолика – до 200°С
- Возможность монтажа хрупких утоненных пластин толщиной менее 40 мкм, а также подложек из гибких пластиковых материалов
- Лазерные метки для точного совмещения пластины и носителя
- Качество и повторяемость процесса, равномерность прижимного усилия по всей плоскости обеспечивают высокую степень плоскостности и минимальный полный разброс по толщине (TTV) структуры из смонтированных пластины и носителя, что необходимо для последующий процессов обработки пластины – химико-механической полировки (CMP), утонения или травления????Опции: вакуумный насос, термостолик с максимальной температурой 400°С, охлаждающий столик
Техническая спецификация AFIXX 20m
Модель |
AFIXX 20m |
Общие |
|
Габариты пластин и подложек |
Диаметр пластин до 200 мм (8”) Размер подложек до 150х150 мм (6”x6”) |
Корпус |
Полипропилен (белый) |
Рабочие поверхности |
Нержавеющая сталь с микрополировкой, анодированный алюминий |
Коммуникации |
|
Электропитание |
230 VAC/N/PE, 50-60 Гц |
Вакуум |
-0,8 бар (-600 Торр), диаметр 6/8 мм (ID/OD) |
Габариты |
|
Модуль монтажа |
350 х 350 х 372 мм |
Термостолик |
350 х 411 х 207 мм |
Параметры поставляемого оборудования могут быть отличны от указанных на сайте, точные характеристики указываются в спецификации при формировании коммерческого предложения.