Полуавтоматическая установка нанесения покрытий методом центрифугирования - UNIXX S760+

Полуавтоматическая автономная установка UNIXX S 760+ предназначена для нанесения покрытий методом центрифугирования на крупноразмерные подложки. В установке применяется технология CCP (Covered Chuck Processor – центрифугирование с закрытой крышкой), позволяющей наносить покрытия с превосходной однородностью и повторяемостью.
Программное обеспечение установки имеет дружественный пользовательский интерфейс со всеми необходимыми функциями, такими как создание и редактирование рабочих программ, администрирование пользователей, отслеживание состояния системы. Подвод необходимых сред (воздух, азот, вакуум) выполняется подключением через быстроразъемные соединения и управляется программным обеспечением.

• Габариты подложек до 535х535 мм / 21”x21”
• Модуль центрифуги размещен в корпусе с антивибрационной защитой
• Технология CCP (центрифугирование с закрытой крышкой) гарантирует отсутствие завихрений воздуха над подложкой, вызывающих возникновение неоднородностей покрытия по краям подложки
• Нанесение разных типов полимерным материалов, в том числе BCB, тонкопленочных, толстопленочных и негативных резистов
• Отсутствие загрязнений на всей площади покрытия
• Отсутствие эффекта «сахарной ваты»
• Снижение потребления полимерного материала покрытия
• Манипулятор для автоматического дозирования материалов (до 6 линий подачи)
• Разные типы форсунок
• Благодаря улучшенной аэродинамике внутри чаши центрифуги, не требуется отмывка обратной стороны подложки
• Универсальный держатель подложек, предназначен для разных типов накладок
• Вакуумные накладки для держателя подложек (изготовлены из POM или PEEK)
• Корпус установки изготовлен из нержавеющей стали
• Закрывающиеся стеклянные дверцы, защищающие от доступа в рабочую зону установки
• Световой трехцветный маяк, отображающий статус работы установки
• Регулируемые по высоте ножки