Термостолик для сушки и задубливания фоторезиста UNIXX HT20E
Скачать PDF
Лабораторный термостолик UNIXX HT20e применяется для сушки и задубливания фоторезиста на полупроводниковых пластинах диаметром до 200 мм или подложках размером 200 х 200 мм. Для удобства при загрузке и разгрузке пластин термостолик оснащен подъемными штифтами, приводимыми в движение электроприводом.
Установка управляется с помощью встроенной 7” сенсорной панели. Программное обеспечение позволяет создавать, редактировать, сохранять и загружать рабочие программы.
Термостолик UNIXX HT20e разработан для использования в лабораториях, мелкосерийного производства и выполнения НИОКР.
Особенности системы:
- Верхняя поверхность и крышка выполнены из нержавеющей стали (для безопасности и удобства в случае встраивания термостолика в рабочий стол)
- Вакуумные каналы для фиксации пластин и подложек на нагревательной плите
- Программируемые подъемные штифты для пластин диаметром 50-200 мм
- Продувка азотом
- Управление и программирование с помощью 7” сенсорной панели
- Интерфейс Ethernet
- Температурный контроллер для создания и поддержания заданного термопрофиля
- Корпус из полипропилена
Техническая спецификация UNIXX HT20e
|
Модель |
UNIXX HT20e |
|
Общие |
|
|
Габариты пластин и подложек |
до Æ200 мм (Æ8”) или до 200х200 мм (8”x8”) |
|
Диапазон температур |
До 300°С, программируется с шагом 1°С |
|
Точность поддержания температуры |
±1°С |
|
Подъемные штифты (1 комплект, 3 штифта) |
От Æ50 мм (Æ2”) до Æ200 мм (Æ8”) или 200х200 мм |
|
Шаг перемещения штифтов |
0,1 мм, программируемый |
|
Время процесса |
Шаг 0,1 с, программируемое |
|
Коммуникации |
|
|
Электропитание |
230 В, 1 фаза, нейтраль, заземление, 50/60 Гц, 16А |
|
Вакуум |
-0,8 бар ±0,2 бар (-600 Торр), внешний диаметр трубки 6 мм |
|
Вытяжка |
Внешний диаметр 38 мм, 30 м3/ч |
|
Азот (опция) |
4 ± 0,2 бар, PFA-трубка с внешним диаметром 6 мм |
|
Чистый сухой воздух (опция) |
8 ± 2 бар, трубка с внешним диаметром 6 мм |
|
Габариты |
|
|
В настольном исполнении (ШхГхВ) |
350 х 520 х 420 мм |
Параметры поставляемого оборудования могут быть отличны от указанных на сайте, точные характеристики указываются в спецификации при формировании коммерческого предложения.